1100C 쿼츠 튜브 오븐 CVD 2D TMD 층을위한 고체 전구자 수블리메이터

산화 확산 열 앙일링 튜브 오븐의 제품 개요

PTC D110/440/12NG는 전구 수비 장착 장치가 있는 컴팩트 1100°C CVD 튜브 오븐이다.완전히 네 채널 가스 입구는 더 이상의 분해와 퇴적을 위해 메인 히터로 소스 증기를 운반하는 다양한 기체의 공급을 허용하는 수비에 구축됩니다.오른쪽 플랜지에 장착 된 샘플 홀더 고정 장치는 샘플을 쉽게 로딩 / 릴딩하기 위해 슬라이드 가능합니다..

주요 특징

• 소형 CVD 오븐 시스템:
• 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" 길이 쿼츠 튜브 (OD 110 x ID 103 x L 740, mm)
• 1100oC 최대 작업 온도 +/- 1oC 정확도
• 오른쪽의 물 냉각 플랜지는 샘플을 쉽게 로딩하기 위해 슬라이드
• 히터와 오븐 사이에 왼쪽에있는 물 냉각 플랜지는 사전 가열 가스 입력 및 밀폐를 위해 사용됩니다.
• 네 채널 가스 입구 (1/8 "디아 튜브와 튜브 장착) 는 왼쪽 측면 플랜지에 내장되어 있습니다
• 작은 히터 하나가 오븐의 왼쪽 측면 플랜지에 부착되어 입력 가스, 액체 또는 고체 화학 물질을 증발시켜 CVD 오븐에 전달됩니다.
• 자세한 내용은 왼쪽 그림에 클릭하세요.
• 1.2'O.D x 6'L SS 튜브로 난방
• 진공 밀폐 1 "ID 작은 쿼츠 튜브 난방 내부 (그림 2)
• 400oC 최대 작동 온도 (1000oC 히터 요청에 사용할 수 있습니다)
• 왼쪽에 있는 플랜지는 가스 밀폐 및 입력

1200시리즈 실험용 오븐의 램프, 주거 및 냉각 곡선

안전 조치

• 내장 암페미터와 듀얼 볼트미터는 모니터링과 문제 해결을 쉽게 합니다.
• 과열 보호 튜브 오븐을 닫는 경우 온도가 허용 범위 밖에서 (감독의 설명서를 참조) 또는 열 쌍이 깨지거나 오작동 경우
• 전력 고장 보호는 전력이 재설정되면 고장 지점 바로 후 오븐 작동을 재개합니다
• 마이크로프로세서 기반의 자율 조정 PID 제어 최소 과잉으로 최적의 열 프로세스를 제공합니다

제품 갤러리

CVD 튜브 오븐용 선구자 수블리메이터 장치

기술 사양

신청서

• 필요한 안전 통제 및 감독없이 오븐 튜브에 수소 또는 메탄과 같은 폭발성 가스를 채우지 마십시오.
• 쿼츠 튜브를 가진 실험실 튜브 오븐은 진공과 낮은 압력 < 0.2 바 / 3 psi / 0.02 MPa 아래 사용하도록 설계되었습니다.
• 소형 균열이 연장 사용으로 불투명 세라믹의 표면에 나타날 수 있습니다. 이것은 정상적인 현상이며 균열은 알루미나 코팅으로 복구 될 수 있습니다.

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