1200C 다 구역 CVD 파이프 오븐 OD120mm 3 구역 온도 균일성 +/- 5C

1200C 다단계 CVD 파이프 오븐 (OD120mm, 3단계) +/- 5 온도 균일성

1700C의 제품 개요로터리 튜브 오븐

멀티존 CVD 파이프 오븐 작업 스테이션은 멀티존 난방 파이프 오븐, 정밀 질량 흐름 가스 제어 스테이션,고 진공 펌프 단위 및 오븐 튜브와 같은 다른 조립 부품Tmax 1200 ° C, 최종 진공 비율은 분자 진공 펌프 단위와 10 ^-7 토르로 올라갑니다.질량 흐름 가스 제어 스테이션은 세 가지 또는 그 이상의 종류의 가스를 혼합하고 용기 내부의 쿼츠 튜브 또는 금속 튜브에 혼합 된 가스를 입력합니다.다중 구역 파이프 오븐은 진공 상태 및 대기 보호 아래 CVD, 확산 및 기타 열 처리 실험에 적합합니다.

주요 특징

• Tmax 1200°C
• 수평, 분할, 다 구역, CVD 튜브 오븐
• 인코넬 600
• 최대 진공 수준 10E-7 torr
• 3채널 정밀 질량 흐름 가스 제어
• 개별적으로 제어되는 여러 난방 구역은 온도 경사도를 향상시킵니다.
• 이중 플랜지 지원은 더 나은 밀착 및 더 긴 파이프 수명을 제공합니다
• N형 열쌍
• CE 인증, 표준

안전 조치

• 내장 암페미터와 듀얼 볼트미터는 모니터링과 문제 해결을 쉽게 합니다.
• 과열 보호 장치는 온도가 허용 범위를 벗어날 경우 ( 컨트롤러의 설명서를 참조하십시오) 또는 열 쌍이 깨지거나 작동하지 않을 경우 CVD 튜브 오븐을 종료합니다.
• 전력 고장 보호는 전원이 재설정되면 고장 지점 바로 후 오븐 작동을 재개합니다.
• 마이크로프로세서 기반의 자율 조정 PID 컨트롤은 최소한의 과잉으로 최적의 열 프로세스를 제공합니다

제품 갤러리

1200C 로터리 튜브 오븐의 전면

기술 사양

신청서

• 필요한 안전 통제 및 감독 없이는 CVD 오븐 튜브에 수소 또는 메탄과 같은 폭발성 가스를 채우지 마십시오.
• 금속 튜브를 가진 튜브 오븐은 진공과 낮은 압력 < 0.2 바 / 3 psi / 0.02 MPa 아래 사용하도록 설계되었습니다.
• 소형 균열이 연장 사용에 의해 불에 저항하는 세라믹 표면에 나타날 수 있습니다. 이것은 정상적인 현상이며 균열은 알루미나 코팅으로 수리 될 수 있습니다.

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