1700C 고온 3 구역 실험실 CVD 진공 튜브 오븐과 OD60mm 알루미나 튜브

제품 개요

PTC D60/600/17/3는 CE 인증을 받은 60mm OD 3존 튜브 오븐으로 완전 진공 밀폐 플랜지가 있습니다.각 난방 구역은 길이가 12 "이고 독립적으로 세 정밀 30 세그먼트 디지털 온도 컨트롤러에 의해 제어한 구역 (중심 구역) 은 1700°C까지의 Super-1800 MoSi2 원소들에 의해 가열되고, 다른 두 구역은 1400°C까지의 SiC 원소들에 의해 가열됩니다.튜브 오븐은 세 지역 온도를 조정하여 다양한 열 기하도를 만들 수 있습니다그것은 열 경사 하에서 기능성 재료를 준비하는 데 탁월한 오븐이며, 또한 CVD에 의해 대두 필름 성장에 사용될 수 있습니다.

주요 특징

• 작업 온도 범위 1200°C~1700°C
• 이중 강철 구조, 최소 열 손실; 독립적으로 제어되는 세 개의 난방 구역
• 99.6% 알루미나 튜브, SS304 급속히 열리는 물 냉각 밀폐 플랜지
• 강력한 MoSi2 난방 요소가 일정한 온도를 보장합니다.
• 최대 온도 안정성과 균일성을 위한 섬유 단열 챔버
• 디지털 PID 컨트롤러, 프로그래밍 가능한 30개 세그먼트
• 가스 공급 장치의 개별 세트, Ar, N2 CO, H2 등과 가스 혼합
• 장수형 B형 열쌍
• CE 인증

안전 조치

• 내장 암페미터와 듀얼 볼트미터는 모니터링과 문제 해결을 쉽게 합니다.
• 과열 보호 장치는 온도가 허용 범위를 벗어나면 (제어기 설명서 참조) 또는 열 쌍이 고장 나 고장 났을 때 오븐을 종료합니다.
• 전력 고장 보호는 전원이 재설정되면 고장 지점 바로 후 오븐 작동을 재개합니다.
• 마이크로프로세서 기반의 자율 조정 PID 제어 최소 과잉으로 최적의 열 프로세스를 제공합니다

제품 세부 정보

1700°C 3단계 고온 CVD 진공 튜브 오븐

• 1700C 고온 CVD 튜브 오븐은 주로 다섯 부분으로 구성됩니다: 오븐 몸, 오븐 튜브, 플랜지 밀폐 액세서리, 가스 공급 시스템,진공 시스템 및 온도 제어 시스템
• 오븐의 외부 철 껍질은 오리 및 포스파팅, 환경 가루 코팅으로 처리되며, 부식 및 산화 저항, 내장 냉각 팬,표면 온도 Rt+45°C
• ISO, CE 준수

1700°C CVD 고온 3존 튜브 오븐의 챔버 프로필

• 높은 알루미나 세라믹 단열, CNC gravure, 방 벽을 단단하게 결합, U형 MoSi2 히터, 온도 1800C까지 저항
• 난방 길이는 600mm, 알루미나 튜브 지름 60mm에 적합합니다. 높은 알루미나 처리 튜브, 1700 °C까지 온도 저항,오븐 튜브 내부의 난방 구역의 중요한 부분은 세라믹 튜브 플러그를 갖추고 있습니다, 이는 열이 빠져나가는 것을 효과적으로 방지하고 열 손실을 줄일 수 있습니다.
• B형 열쌍

빠른 개방 플랜지, 오븐 튜브 지원, 1/4 "파고다 가스 노즐, 진공 펌프 단위

• SS304 가속 열 수 있는 물 냉각 플랜지 액세서리로 장착되어 있으며, 높은 온도에 내성이 있는 플루오르 고무 밀폐 고리로 밀폐되어 있습니다.
• 공기 입구와 출구는 G1/4 인치 파고다 공기 노즐을 채택하고 있으며, 외부 지름 8mm의 PTFE 파이프에 연결 할 수 있습니다. 최대 진공은 10 * -7torr에 도달 할 수 있습니다.
• KF25와 연결 분자 펌프 단위, 진공 수준이 10 * 5mbar에 도달하는지 확인하십시오

1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES 파이프 오븐을 위한 난방 프로그램

• 프로그램 가능한 30개 세그먼트, 열속도 1~10C/min 자유롭게 조절
• 좋은 열 절연, 자연 냉각, 부드럽게 냉각
• 7 "터치 화면 패널은 선택적입니다, 난방 프로그램은 적시에 표시 될 수 있습니다, 그리고 다운로드

T기술 사양

신청서

• 처리 튜브 압력은 0.02MPa보다 낮아야 합니다
• 가스 소스는 압력 절감 밸브를 장착해야합니다.
• H2와 같은 환원 가스를 채우기 전에, 튜브에서 공기를 펌프해야합니다
• 튜브에 가스 입구에서 가스를 채울 때, 가스 출구 밸브가 열려 있는지 확인해야합니다

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