1700C CVD MFC 가스 믹서 및 분자 펌프 단위 3 영역 진공 튜브 오븐

제품 개요

PT D80/1500/17/3는 고온, 3 영역 CVD 고 진공 튜브 오븐이다. OD80mm 알루미나 튜브, 난방 길이 1500mm. 10-5torr까지 진공 수준과 분자 펌프를 갖추고,3 채널 MFC 정밀 제어 가스 혼합. 304SS 물 냉각 플랜지 바늘 밸브와 가이드, 여러 가지 가스를위한 여러 공기 입구 및 출구.그것은 +/- °C의 온도 제어 정확성을 가진 마이크로프로세서 기반의 자율 조정 유디안 PID 온도 제어 시스템을 채택, MoSi2 막대 가열, 최대 온도는 1700 ° C에 도달 할 수 있습니다 (1500 ° C 높은 진공 하에서). 3 영역 높은 진공 튜브 오븐은 주로 진공 및 대기 보호 시너링에 사용됩니다.진공 얇은 필름 코팅심혈관 질환 실험 등

주요 특징

• Tmax 1700°C
• 3 난방 구역 고 진공, CVD 튜브 오븐
• 이중 강철 구조, 최소 열 손실
• 분자 펌프 단위, 최대 진공 수준 최대 10-5 토르
• 3채널 MFC 제어 가스 믹서
• 최대 온도 안정성과 균일성을 위해 MoSi2 난방 요소를 갖춘 섬유 단열 챔버
• 304SS 물 냉각 밀폐 플랜지
• +/- 1°C의 정확도를 가진 프로그래밍 가능한 30개 세그먼트의 디지털 PID 컨트롤러
• B형 열쌍
• ISO, CE

안전 조치

• 내장 암페미터와 듀얼 볼트미터는 모니터링과 문제 해결을 쉽게 합니다.
• 과열 보호 장치는 온도가 허용 범위를 벗어나면 (제어기 설명서 참조) 또는 열 쌍이 고장 나 고장 났을 때 오븐을 종료합니다.
• 전력 고장 보호는 전원이 재설정되면 고장 지점 바로 후 오븐 작동을 재개합니다.
• 마이크로프로세서 기반의 자율 조정 PID 제어 최소 과잉으로 최적의 열 프로세스를 제공합니다

제품 세부 정보

1700°C CVD 3존 진공관 오븐, MFC 가스 믹서와 물 냉각 장치

• PT D80/1500/17은 주로 7개의 부분으로 구성됩니다: 오븐 몸체, 오븐 튜브, 플랜지 밀폐 액세서리, 가스 공급 시스템, 물 냉각 시스템,진공 펌프 시스템 및 온도 제어 시스템
• 오븐의 외부 철 껍질은 오리 및 포스파팅, 환경 가루 코팅으로 처리되며, 부식 및 산화 저항, 내장 냉각 팬,표면 온도 Rt+45°C
• 우아한 외관, ISO, CE 준수

1700°C CVD 3 영역 고 진공 튜브 오븐의 챔버 프로필

• 높은 알루미나 세라믹 단열, CNC gravure, 방 벽을 단단하게 결합, U형 MoSi2 히터, 온도 1800C까지 저항
• 난방 길이는 600mm, 알루미나 튜브 지름 60mm에 적합합니다. 높은 알루미나 처리 튜브, 1700 °C까지 온도 저항,오븐 튜브 내부의 난방 구역의 중요한 부분은 세라믹 튜브 플러그를 갖추고 있습니다, 효과적으로 열을 탈출 방지하고 열 손실을 줄일 수 있습니다
• B형 열쌍

물 냉각 플랜지, 1/4 "파고다 가스 노즐, 분자 진공 펌프 단위

• SS304 물 냉각 플랜지 세트로 장착되어 있으며, 고온 저항성 플루오린 고무 밀폐 고리로 밀폐되어 있습니다.
• 공기 입구와 출구는 8mm의 외부 지름의 PTFE 파이프에 연결 될 수있는 G1/4 인치 파고다 공기 노즐을 채택합니다.
• KF25와 연결 분자 펌프 단위, 진공 수준이 10 * 5mbar에 도달하는지 확인하십시오

1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES 파이프 오븐을 위한 난방 프로그램

• 프로그램 가능한 30개 세그먼트, 열속도 1~10C/min 자유롭게 조절
• 좋은 열 절연, 자연 냉각, 부드럽게 냉각
• 7 "터치 화면 패널은 선택적입니다, 난방 프로그램은 적시에 표시 될 수 있습니다, 그리고 다운로드

T기술 사양

신청서

• 처리 튜브 압력은 0.02MPa보다 낮아야 합니다
• 가스 소스는 압력 절감 밸브를 장착해야합니다.
• H2와 같은 환원 가스를 채우기 전에, 튜브에서 공기를 펌프해야합니다
• 튜브에 가스 입구에서 가스를 채울 때, 가스 출구 밸브가 열려 있는지 확인해야합니다

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